掃描電子顯微鏡(SEM) 是一種介于透射電子顯微鏡和光學顯微鏡之間的一種觀察手段。其利用聚焦的很窄的高能電子束來掃描樣品, 通過光束與物質間的相互作用, 來激發各種物理信息, 對這些信息收集、放大、再成像以達到對物質微觀形貌表征的目的。
掃描電鏡具有景深大、分辨率高, 成像直觀、立體感強、放大倍數范圍寬以及待測樣品可在三維空間內進行旋轉和傾斜等特點。另外具有可測樣品種類豐富, 幾乎不損傷和污染原始樣品以及可同時獲得形貌、結構、成分和結晶學信息等優點。
掃描電鏡的主要結構：
電子光學系統：產生高能電子束的鏡筒，包括:電子槍、電磁透鏡和掃描線圈;
信號探測處理及成像系統：接收并處理各種電子信號，包括掃描信號發生器、探測器、掃描放大器、電子信息處理器和監控器;
圖像記錄系統：記錄電子圖像的信息，包括攝像頭、圖像分析器和記錄設備;
真空系統：作為電子束與樣品作用載體，包括樣品室、真空閥門、機械泵、油擴散泵、離子泵和真空檢測裝置;
電源供給系統：調控掃描電子顯微鏡外部環境，包括不間斷電源、變壓器、穩壓器、安全控制線路和獨立地線。
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